高反镜表面颗粒物在连续激光辐照下的吸收特性
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中国科学院光电技术研究所

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中图分类号:

O43???

基金项目:

国家自然科学基金项目(面上项目,重点项目,重大项目)


Absorption characteristics of particles on the surface of high reflective mirror under continuous wave laser irradiation
Author:
Affiliation:

Institute of Optics and Electronics, Chinese Academy of Sciences

Fund Project:

The National Natural Science Foundation of China (General Program, Key Program, Major Research Plan)

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    摘要:

    光学元件表面吸收损耗是衡量光学元件光学性能的重要指标,颗粒污染物附着通常会引起光学元件表面吸收损耗大幅增加。本文基于红外热像仪温升检测方法,研究了几种典型颗粒污染对高反镜表面吸收损耗影响,并根据颗粒污染物分布特点建立阶梯式分布吸收和离散分布吸收模型。考虑测温精度受红外热像仪空间分辨率的影响,提取单像素点内温升数据进行有限元分析,获取精度与单像素点相当的镀膜元件表面局部吸收损耗,结合显微镜下扫描结果进一步优化仿真模型,从而获得了薄膜元件表面颗粒污染物的吸收损耗。

    Abstract:

    The surface absorption loss of optical components is an important index to measure the optical performance of optical components. The attachment of particle pollutants usually causes a significant increase in the surface absorption loss of optical components. In this paper, based on the temperature rise detection method of infrared thermal imager, the influence of several typical particle pollution on the surface absorption loss of high reflective mirror is studied, and the stepped distribution absorption and discrete distribution absorption models are established according to the distribution characteristics of particle pollutants. Considering that the temperature measurement accuracy is affected by the spatial resolution of the infrared thermal imager, the temperature rise data in a single pixel is extracted for finite element analysis, and the local absorption loss on the surface of the coated element with the accuracy equivalent to that of a single pixel is obtained. Combined with the scanning results under the microscope, the simulation model is further optimized to obtain the absorption loss of particulate pollutants on the surface of the thin film element.

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  • 收稿日期:2024-02-21
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