摘要:微型光纤布拉格光栅(fiber Bragg grating, FBG)解调系统是光纤传感领域的热门研究方向。光子集成技术的发展催生了一系列小型化的光纤光栅解调仪。阵列波导光栅(AWG)是光子集成解调系统的核心部件。其光谱特性会影响光子集成光纤光栅解调系统的解调性能。本文设计、仿真并制造了一种基于绝缘体上硅(Silicon on Insulator,SOI)衬底的阵列波导光栅(Arrayed waveguide grating, AWG)。经测试,该AWG的片上插入损耗为3 dB,串扰< -20 dB,3dB带宽为2.3 nm。搭建了基于该AWG的解调系统,解调实验结果表明,该系统在0.8 nm范围内的解调精度可达34.2 pm,波长分辨率为6 pm。