(1. 重庆邮电大学 智能传感技术与微系统重庆市高校工程研究中心, 重庆 400065;2. 贵州航天控制技术有限公司, 贵阳 550009)
国家重点研发计划项目(2018YFF01010201,2018YFF01010202);国家自然科学基金项目(11704053);重庆市自然科学基金项目(CSTC-2020jcyj-msxm0603).通信作者:刘宇
(1. Chongqing Engineering Research Center of Intelligent Sensing Technology and Microsystem, Chongqing University of Posts and Telecommun., Chongqing 400065, CHN;2. Guizhou Aerospace Control Technology Co. Ltd., Guiyang 550009, CHN)