(长春理工大学 跨尺度微纳制造教育部重点实验室, 长春 130022)
孙艺洋(1997-),男,吉林辽源人,硕士研究生,主要从事微纳制造技术研究;
国家重点研发计划项目(2018YFB1107403);中国“111”计划项目(D17017);吉林省科技发展计划项目(20190101005JH,20180201057GX).*通信作者:许金凯E-mail:xujinkai@cust.edu.cn
(Key Laboratory of Ministry of Education for Cross-Scale Micro and Nano Manufacturing, ChangChun University of Science and Technology, Changchun 130022, CHN)