(1. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 新能源中心, 上海 201800;2. 中国科学院大学, 北京 100049;3. 中国科学院大学 材料与光电研究中心, 北京 100049)
装备预研重点实验室基金项目(6142804010203).通信作者:刘正新E-mail:z.x.liu@mail.sim.ac.cn
(1. New Energy Center, Shanghai Institute of Microsystems and Information Technology of the Chinese Academy of Sciences, Shanghai 201800, CHN;2. University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100049, CHN;3. Research Center for Materials and Optoelectronics, University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100049, CHN)