(1. 中国电子科技集团公司第十一研究所, 北京 100016;2. 重庆光电技术研究所, 重庆 400060;3. 天津大学 微电子学院, 天津 300072)
(1. The 11th Research Institute of China Electronics Technology Group Corporation, Beijing 100016, CHN;2. Chongqing Optoelectronics Research Institute, Chongqing 400060, CHN;3. School of Microelectonics, Tianjin University, Tianjin 300072, CHN)