(1.上海交通大学 微米/纳米加工技术国家级重点实验室 上海 200240;2. 上海交通大学电子信息与电气工程学院 微纳电子学系, 上海 200240)
薛 冰(1995-),男,硕士研究生,主要从事硅微陀螺仪的驱动检测电路研究;
国家自然科学基金项目(61574093);预研基金项目(614280504010317,6140863020202);上海专业技术服务平台项目(19DZ2291103);教育部新世纪优秀人才支撑计划项目(NCET-10-0583).
(1. National Key Laboratory of Science and Technology on Micro/Nano Fabrication;2. Department of Micro/Nano Electronics, Shanghai Jiaotong University, Shanghai 200240, CHN)