(上海交通大学 电子信息与电气工程学院 微纳电子学系, 微米/纳米加工技术国家级重点实验室, 薄膜与微细技术教育部重点实验室, 上海市北斗导航与位置服务重点实验室, 上海 200240)
张钰莹(1993-),女,硕士生,主要从事微谐振陀螺仪测控系统的研究; E-mail:sjtu_zhangyuying@163.com
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国家自然科学基金项目(61574093);预研基金项目(614280504010317,6140863020202);航天科技创新基金项目(16GFZ-JJ01-309);航天先进技术联合研究中心技术创新项目(USCAST2016-5);上海专业技术服务平台项目(16DZ2290103);教育部新世纪优秀人才支持计划项目(NCET-10-0583).
(National Key Lab. of Science and Technol. on Nano/Micro Fabrication, Key Lab. for Thin Film and Micro Fabrication of The Ministry of Education, Shanghai Key Lab. of Navigation and Location Based Services, Dept. of Micro Nano Electronics, School of Electronic Information and Electrical Engin., Shanghai Jiaotong University, Shanghai 200240, CHN)