(上海交通大学 微纳电子学系 微米纳米加工技术国家级重点实验室, 上海 200240)
TP273
国家“973”计划项目(2011CB933102);上海市科委平台建设项目(11DZ2290303).
(National Key Lab. of Science and Technol. on Micro/Nano Fabrication, Dept. of Micro/Nano Electron., Shanghai Jiaotong University, Shanghai 200240, CHN)