(上海交通大学 微纳电子学系 微米/纳米加工技术国家级重点实验室 北斗导航与位置服务上海市重点实验室, 上海 200240)
曾小润(1994-),女,江西吉安人,硕士研究生,主要研究FPGA控制系统在MEMS器件中的应用; E-mail:zxrhiter@163.com
TN911
上海市科委平台建设项目(11DZ2290303); 上海市科委浦江人才计划资助项目(14PJD022).
(National Key Lab. of Science and Technol. on Micro/Nano Fabrication, Shanghai Key Lab. of Navigation and Location Services, Dept. of Micro/Nano Electron., Shanghai Jiao Tong University, Shanghai 200240, CHN)