中国科学院战略性先导科技专项项目(XDA09020402); 国家“973”计划项目(2013CBA01900, 2010CB934300, 2011CBA00607, 2011CB932804); 国家集成电路重大专项项目(2009ZX02023-003); 国家自然科学基金项目(61176122, 61106001, 61261160500, 61376006); 上海市科委项目(12nm0503701, 13DZ2295700, 12QA1403900, 13ZR1447200, 14ZR1447500)