研究了一种用于颅内压测量的膜片式光纤法布里-珀罗压力传感器。外玻璃管和用于光纤准直的内玻璃管采用UV胶粘接,构成空气腔。在空气腔的一端粘接石英膜片,另一端插入多模光纤,石英膜片和光纤端面的两个反射面构成法珀干涉腔。制作了两种不同尺寸的传感器,在0~25kPa的压力测量范围内,灵敏度高达39.2nm/kPa,压强测量分辨率为133Pa,线性拟合度为99.9%,具备生物兼容性,满足人体颅内压测量的需求。与商用的颅内压测量传感器相比,该传感器制作方法简单、成本低廉。 更多还原