摘要:为提高紫外焦平面组件成像质量, 提出了可用于紫外焦平面的像素级数字化读出电路结构。针对紫外信号微弱及焦平面探测器像素面积小的特点, 设计了基于电容反馈跨阻放大器(Capacitive Trans-Impedance Amplifier, CTIA)结构、模数转换器和锁存器的紫外焦平面像素级模数转换读出电路, 并给出了实现像素内模数转换的工作原理。详细讨论了像素内模数转换的实现方法, 各模块的设计要求及其具体实现, 并基于0.35μm DP4M CMOS工艺设计制造了面阵规模128×128、像素单元面积50μm×50μm的读出电路芯片。电路性能测试与成像实验表明: 电路的精度达到1mV以下, 有效位数达到11位, 实现了紫外焦平面读出电路的低噪声数字化输出。